TiCl4 ALD/TiN Non-Stop Trap
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Advantage
- 효율이 높다
- Customizing 가능
- 장비 Down 없이 Trap 교체 가능
- PM주기 : 6개월 이상
- Applied Process : TF TiCl4 ALD/TiN 공정
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Hardware Spec.
- Product Size
- Trap : customizing 대응가능
- Controller : customizing 대응가능
- Outer Tank : customizing 대응가능
- Inner tank : customizing 대응가능
- Heater
- Sheath Type
- Operating Temp. : 150℃~300℃
- Controller
- Channel : 1CH ~ 4CH
- Safety Interlock System